对话ASML中国区总裁沈波：光刻机为什么那么难？

沈波首先讲述了ASML参展进博会的亮点。这是ASML第五次参加进博会，其将以“光刻未来，携手同行”为主题，亮相国家会展中心技术装备区集成电路专区。

光刻机难在何处？

关于进博会展出情况，沈波表示：“平时公司大多（数）设备产品都放在洁净室，对环境的要求非常高。因此，我们只能让大家，通过各种虚拟的方式感受ASML的产品，包括产品的工作方式。”

他表示：“今年我们展台分为三块，中间这一块希望着重地让大家理解芯片制造全流程和ASML的全景光刻解决方案。我们希望通过进博会平台，让大家对ASML有一个更客观、更全面的认识。着力让大家理解，在芯片厂里面，ASML能够帮客户做什么。”

对于光刻机为什么这么难？沈波表示：“我们的光刻机每小时能处理多达300余片晶圆，每一片晶圆可能在光刻机中曝光时间只有十几秒。这十几秒，机器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圆上，根据产品种类和设计的差异需要产生100束光左右，每一束光都会有区别，并且在实时调整。这个过程是非常复杂、非常精细的。”

ASML全球副总裁、中国区总裁沈波

图片来源：企业供图

沈波补充表示：“光刻环节，处于上千道工序里面最核心的位置。量产芯片厂，产品良率基本上在90%以上。这一千多道工序，每一道工序误差、偏差都需要控制得非常精确。任何一道工序有问题，芯片最后出来就可能不是一个合格的产品，这对芯片厂是巨大的成本。在我们看来，光刻担负的使命是让整个工艺获得一个非常好的窗口，在其他工序控制起来有难度、有偏差的地方，希望在光刻领域工艺窗口做得大一些，留一点余量给其他环节。因此，很大压力都会放在光刻环节上。”

此外，沈波也介绍了计算光刻。他表示：“芯片生产过程中，光的衍射效应非常明显。举个例子，如果想得到一个正方形，我们在设计光罩的时候可能需要设计成圆形。简单说，想得到的芯片图形与设计的光罩图形有非常大的差异。计算光刻扮演的角色，就是通过大量模型的建立，把这些物理效应充分考虑进去。”

ASML怎样助力晶圆厂？

在提问环节，《每日经济新闻》记者提问道：“您认为我国现在半导体未来的发展方向是哪里？未来重点发展在哪些方向？”

沈波回复称：“芯片这个行业的发展到现在已经超过60年时间了，从集成电路发明到现在，一直沿着自己的规律在往前走。如果我们去看中国这个产业里面最有影响的地方在哪？可以从不同终端市场来看。”

举例来说，根据公开数据，家电行业，中国是家电和消费电子产品的最大消费国与生产国之一，预计2023年中国在该领域最高将创造1530亿美元的收入，约占全球的30%；汽车行业，根据中国汽车工业协会的最新统计数据，中国新能源(600617)汽车的增长速度连续八年保持世界第一；储能行业，截至2022年底，中国已投运的电力储能项目累计装机容量为59.8GW，占全球市场总量的25%，年增长率为38%；另外，中国企业供应了全球约80%的多晶硅、太阳能(000591)电池和组件。

这是芯片应用的终端。落到芯片制造领域，哪些市场值得关注呢？沈波表示：“我们自己看来，先进制程芯片从数量上讲是相对较小的，绝大多数是成熟制程芯片。我觉得，对于中国来讲，这么大终端市场需求推动下，把最大头成熟制程芯片做到非常具有竞争力的水平，对咱们这个行业来讲是最高效的，可以达到一个事半功倍的效果，有助于提高投入产出比。”

目前中国成熟制程有多大进步空间呢？沈波继续讲述：“成熟制程这个领域里面，能把中国的成熟制程做到全世界非常具有竞争力的水平，可能在未来相当长的一段时间里面大家还有大量的工作要做。尤其是在现在这种大环境下，从产业链的各个环节来看都需要一起通力合作，我们怎么能把这块做到在全球范围内都是非常有竞争力的，是一个值得考虑和努力的方向。”

《每日经济新闻》记者追问：“在先进制程发展受到制约的背景下，很多晶圆工厂大力发展特色工艺，比如BCD（一种单片集成工艺技术）或者高压显示驱动。ASML在人员上是否在特色工艺领域给予晶圆厂一些支持呢？”

沈波回复道：“中国市场就像一个缩小的全球市场，很多样化，各种各样的客户、不同的产品都有。此外，ASML对客户的服务，并不仅是机器坏了去把它修好再重新运行，并非这么简单的服务。ASML对所有客户而言，很大的附加值是帮客户把机器用得好。通过我们的服务，让客户工艺流程能够做得更好。这个过程，有很多需要优化、需要调整的地方，这就需要服务团队与客户一起，根据工艺需求去做针对性的调整。”

“这是我们一直对所有客户都在做的事情。我们面对不同的应用，都有相应的技术人员，跟客户的技术人员合作，帮助客户把它的工艺开发出来，把工艺做得更好。我们的服务远远超过维修这个范畴。”沈波总结道。

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每日经济新闻