微导纳米获得实用新型专利授权：“包括气体混合装置的处理设备”
专利摘要：本申请涉及一种包括气体混合装置的处理设备，包括处理空间；气体混合装置包括混合罐、螺旋管及多根进气管，混合罐及螺旋管形成气体管路，混合罐包括罐体及螺旋叶片，罐体具有混合腔、进气口及出气口，螺旋叶片设置于混合腔内，以与混合腔的内壁围合形成螺旋通道，进气口及出气口均与螺旋通道连通；螺旋管连接于罐体的进气口和/或出气口，进气管与进气口或螺旋管连接，气体管路连接于处理空间，以向处理空间内提供处理气体。处理气体在螺旋管和罐体的螺旋通道内进行混合后再输送至处理空间内，能够保证处理空间内处理气体混合的均匀性，确保处理空间内镀膜形成的薄膜的质量。
今年以来微导纳米新获得专利授权39个，较去年同期增加了143.75%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。
数据来源：企查查
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